FOUP - FOUP

FOUP uchun qisqartma Fyo'q Oqalamga olish Utasdiqlangan Pod[1] yoki Fyo'q Oqalamga olish Universal Pod.[2]

Bu ushlab turish uchun mo'ljallangan ixtisoslashgan plastik to'siq kremniy gofretlar xavfsiz va xavfsiz tarzda boshqariladigan muhitda va gofretlarni ishlov berish yoki o'lchash uchun mashinalar o'rtasida o'tkazishga imkon berish.[3] 1990-yillarning o'rtalarida birinchi 300 mm lik plastinka ishlov berish vositalari bilan birga FOUPlar paydo bo'la boshladi. Gofretlarning kattaligi va ularning nisbatan qattiqligi yo'qligi shuni anglatardi SMIF hayotiy texnologiya emas edi. FOUPlar 300 mm cheklovlarni hisobga olgan holda ishlab chiqilgan bo'lib, olinadigan kassetani FOUP-dagi gofretlarni ushlab turuvchi qanotlari bilan almashtirgan holda, pastki ochilish eshigi oldingi ochilish eshigi bilan almashtirilib, robotlarga ishlov berish mexanizmlari gofretlarga kirish imkoniyatini beradi. to'g'ridan-to'g'ri FOUPdan. To'liq yuklangan 25 ta gofrirovka qilingan FOUPning vazni 9 kilogramm atrofida bo'lib, avtomatlashtirilgan materiallar bilan ishlash tizimlari eng kichik fabrikalardan tashqari hamma uchun zarur ekanligini anglatadi.[iqtibos kerak ] Bunga ruxsat berish uchun har bir FOUPda FOUPni yuk portida joylashishiga va AMHS tomonidan boshqarilishiga imkon beradigan turli xil biriktiruvchi plitalar, pinlar va teshiklar mavjud (Avtomatlashtirilgan materiallar bilan ishlash tizimi ). FOUPlar tarkibida ham bo'lishi mumkin RF ularni o'quvchilar tomonidan vositalar, AMHS va boshqalarda aniqlashga imkon beradigan teglar.[iqtibos kerak ] Qurilmalarni ko'paytirish uchun FOUPlar xaridorning xohishiga qarab bir nechta ranglarda mavjud.FOUPs va IC ishlab chiqarish uskunalari azotli atmosferaga ega bo'lishi mumkin. Yo'l bering.[4][5]

FOSB

Old ochiladigan yuk qutisi (old tomoni)

FOSB uchun qisqartma Fyo'q Oqalamga olish Skaltaklash Box, ishlab chiqarish korxonalari o'rtasida gofretlarni o'tkazish uchun ishlatiladi.[1]

Ishlab chiqaruvchilar

Shuningdek qarang

Adabiyotlar

  1. ^ a b Yoshio Nishi; Robert Doering (2007 yil 9-iyul). Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish texnologiyasining qo'llanmasi, ikkinchi nashr. CRC Press. 33– betlar. ISBN  978-1-4200-1766-3.
  2. ^ Mixail Baklanov; Pol S. Xo; Erenfrid Zschech (2012 yil 17 fevral). ULSI texnologiyasi uchun rivojlangan aloqalar. John Wiley & Sons. 291– betlar. ISBN  978-1-119-96686-9.
  3. ^ Lars Monx; John W. Fowler; Skott Meyson (2012 yil 12 sentyabr). Yarimo'tkazgichli gofret ishlab chiqarish inshootlari uchun ishlab chiqarishni rejalashtirish va boshqarish: modellashtirish, tahlil qilish va tizimlar. Springer Science & Business Media. 144– betlar. ISBN  978-1-4614-4471-8.
  4. ^ "FOUP Purge System - Fabmatics GmbH: Yarimo'tkazgich sanoati uchun materiallardan foydalanishni avtomatlashtirish". www.fabmatics.com.
  5. ^ "Yuk ko'tarish uchun yangi TDK azotli tozalash FOUP modellari ishga tushirildi". www.businesswire.com. 2013 yil 3-iyul.