Ion qurol - Ion gun

An Ion Gun odatda nurni hosil qiladigan asbobga ishora qiladi og'ir ionlar aniq belgilangan energiya taqsimoti bilan. The ion nurlari hajmi bo'yicha chegaralangan plazmadan ishlab chiqariladi. Muayyan energiya ionlari ajratib olinadi, tezlashadi, kollimatlanadi va / yoki yo'naltiriladi. Ion qurol an ion manbai, ekstraktsiya panjarasi tuzilishi va kollimatsiya / ob'ektiv tuzilishi. Plazma inert yoki reaktiv gazdan iborat bo'lishi mumkin (masalan, N+ va O+) yoki osonlikcha kondensatsiyalanadigan moddalar (masalan, C+ va B+). Plazma nurni hosil qiladigan moddani o'z ichiga olgan molekulalardan hosil bo'lishi mumkin, bu holda bu molekulalar parchalanib, keyin ionlashtirilishi kerak (masalan, H va CH4 olmosga o'xshash uglerod plyonkalarini yotqizish uchun nur hosil qilish uchun birgalikda parchalanishi va ionlashtirilishi mumkin).

Ion joriy zichlik (yoki shunga o'xshash ion oqimi), ion energiyasining tarqalishi va qaror ion nurlari ion tabancasının dizaynidagi asosiy omillardir. Ion oqimining zichligi ion manbai, energiya tarqalishi birinchi navbatda ekstraktsiya panjarasi bilan belgilanadi va o'lchamlari birinchi navbatda optik ustun bilan belgilanadi.

Ion qurol muhim tarkibiy qism hisoblanadi sirt ilmi u olimga sirtni püskürtmek va elementar yoki kimyoviy chuqurlik profilini yaratish uchun vosita beradi.[1] Zamonaviy ion qurollari 10eV dan 10keV dan yuqori nurlanish energiyasini ishlab chiqarishi mumkin.

O'lchov va aniqlash

A Nanokulombmetr bilan birgalikda Faraday kubogi ion qurollaridan chiqadigan nurlarni aniqlash va o'lchash uchun ishlatilishi mumkin.

Shuningdek qarang

"Ion qurol" atamasi har qanday zaryadlangan zarrachaning tezlatuvchisini ham anglatishi mumkin. Quyidagilarga qarang:

Adabiyotlar

  1. ^ Giannuzzi, L.A., Stevi, F.A., "Fokuslangan ion nurlariga kirish: asbobsozlik, nazariya, texnika va amaliyot", Springer (2005), s.315
  • Mattox, D.M., "Buxoriyni fizik ravishda cho'ktirish (PVD) bilan ishlash bo'yicha qo'llanma", 2-nashr, Elsevier Inc., Oksford (2010), p. 185
  • Riviére, JC, "Sirt va interfeyslarni tahlil qilish bo'yicha qo'llanma: muammolarni hal qilish usullari", 2-nashr, CRC Press, Boca Raton (2009), p. 73-5
  • Cherepin, T.V., "Qattiq sirtlarning ikkilamchi ionli massa spektroskopiyasi", inglizcha nashr, VNU Science Press, Gollandiya (1987), p. 38-9
  • Briggs, D., "XPS va statik SIMS yordamida polimerlarning sirtini tahlil qilish", Cambridge University Press (1998), p. 89