Tez termik ishlov berish - Rapid thermal processing
Tez termik ishlov berish (RTP) a yarimo'tkazgich isitadigan ishlab chiqarish jarayoni kremniy gofretlari bir necha soniya yoki undan kam vaqt oralig'ida yuqori haroratgacha (1000 ° C dan yuqori). Sovutish paytida esa issiqlik zarbasi tufayli dislokatsiya va gofretning sinishi oldini olish uchun gofret harorati sekin tushirilishi kerak. Bunday tez isitish stavkalariga ko'pincha yuqori intensiv lampalar yoki lazerlar erishiladi. Ushbu jarayonlar turli xil ilovalar uchun ishlatiladi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish, shu jumladan dopantni faollashtirish, termal oksidlanish, metallni qayta oqimi va kimyoviy bug 'cho'kmasi.[1]
Haroratni boshqarish
Tez termik ishlov berishning asosiy muammolaridan biri bu gofret haroratini aniq o'lchash va boshqarishdir. Atrof-muhitni termojuft bilan kuzatib borish yaqinda amalga oshirila boshlandi, chunki yuqori haroratli rampa stavkalari gofretning kelishiga to'sqinlik qiladi issiqlik muvozanati jarayon kamerasi bilan. Bitta haroratni nazorat qilish strategiyasi o'z ichiga oladi joyida pirometriya real vaqt nazoratini amalga oshirish. Payvandlash uchun temirni eritish uchun ishlatiladi.
Tez termal tavlama
Tez termal tavlama (RTA) - bu Tezkor Termal Qayta ishlashning bir qismidir. Bu ishlatilgan jarayon yarimo'tkazgich moslamasini ishlab chiqarish bu bitta isitishdan iborat gofret uning elektr xususiyatlariga ta'sir qilish uchun bir vaqtning o'zida. Noyob issiqlik bilan ishlov berish turli xil effektlarga mo'ljallangan. Gofretlarni faollashtirish uchun isitish mumkin sport shimlari, plyonkadan plyonkaga yoki plyonkadan gofrirovka qilingan substrat interfeyslarini o'zgartirish, yotqizilgan plyonkalarni zichlash, o'stirilgan plyonkalarning holatini o'zgartirish, zararni tiklash ion implantatsiyasi, qo'shimchalarni harakatlantiring yoki dopantlarni bitta filmdan boshqasiga yoki filmdan gofret substratga surting.
Tez termal tavlanmalar bir vaqtning o'zida bitta gofrirovkani isitadigan uskunalar tomonidan lampaga asoslangan isitish, issiq patron yoki gofret yaqinidagi issiq taxta yordamida amalga oshiriladi. Aksincha o'choq tavlamalari ular qisqa muddatli bo'lib, har bir gofretni bir necha daqiqada qayta ishlaydi.
Qisqa tavlanish vaqtiga va tez o'tkazuvchanlikka erishish uchun qurbonliklar harorat va jarayonning bir xilligi, haroratni o'lchash va boshqarish va gofret stresida amalga oshiriladi.
Yaqinda RTP-ga o'xshash qayta ishlash boshqa tez sur'atlar bilan o'sib borayotgan sohada - quyosh batareyalarini ishlab chiqarishda o'z dasturlarini topdi. Yarimo'tkazgich namunasi haroratining oshishi optik oqimni yutish natijasida hosil bo'ladigan RTPga o'xshash ishlov berish hozirda quyosh xujayralarini ishlab chiqarish bosqichlarida, shu jumladan N / P birikmasi hosil bo'lishi va nopoklikni olish uchun fosfor diffuziyasida qo'llaniladi. , nopoklik va defekt passivatsiyasi uchun vodorod diffuziyasi va old tomon uchun mos ravishda Ag-siyoh va orqa kontaktlar uchun Al-siyoh yordamida ekranga bosilgan kontaktlarni hosil qilish.
Adabiyotlar
- ^ Doktor Lin Fuller (2010 yil 27 mart). "Tez termik ishlov berish (RTP)" (PDF).