Geliy ionining mikroskopini skanerlash - Scanning helium ion microscope

Orion Nanofab geliy ion mikroskopi Zeiss mikroskoplari
Sichqoncha emalining SEM (yuqori) va SHIM (pastki) tasvirlarini taqqoslash. SHIM tasvirlari yuqori darajaga ega maydon chuqurligi, SEM tasvirlarida qora dog'lar sifatida ko'rinadigan emalli tunnellarda ichki tuzilishni namoyish etadi.[1]

A geliy ion mikroskopini skanerlash (ShIM, U yoki HIM) - bu skanerlashga asoslangan tasvirlash texnologiyasi geliy ion nurlari.[2] Boshqalarga o'xshash yo'naltirilgan ion nurlari texnikasi, bu frezeleme va namunalarni kesishni subananometr piksellar sonida ularni kuzatish bilan birlashtirishga imkon beradi.[3]

Tasvirlash nuqtai nazaridan SHIM an'anaviyga nisbatan bir nechta afzalliklarga ega elektron mikroskopni skanerlash (SEM). Juda yuqori manba yorqinligi va qisqa De-Broyl to'lqin uzunligi ularning momentumiga teskari proportsional bo'lgan geliy ionlaridan an'anaviy ma'lumotlarga ega bo'lmagan sifatli ma'lumotlarni olish mumkin. mikroskoplar qaysi foydalanish fotonlar yoki elektronlar chiqaradigan manba sifatida. Geliy ioni nur bilan o'zaro ta'sirlashganda, u katta qo'zg'alish hajmiga duch kelmaydi va shu sababli aniq tasvirlarni katta maydon chuqurligi materiallarning keng doirasi bo'yicha. SEM bilan taqqoslaganda, ikkilamchi elektron rentabelligi juda yuqori, bu esa 1 gacha bo'lgan oqim bilan tasvirlashga imkon beradi femtoamp. Detektorlar ma'lumotga boy tasvirlarni taqdim etadi, ular namunaning topografik, moddiy, kristalografik va elektr xususiyatlarini taqdim etadi. Boshqa ion nurlaridan farqli o'laroq, geliy ionining nisbatan engil massasi tufayli aniqlangan namunaviy zarar yo'q. Kamchilik - bu xarajat.

SHIMlar 2007 yildan beri tijorat sifatida mavjud,[4] va sirt o'lchamlari 0,24 ga teng nanometrlar namoyish etildi.[5][6]

Adabiyotlar

  1. ^ Bidlack, Felicitas B.; Xaynx, Chuong; Marshman, Jeffri; Gyote, Bernxard (2014). "Emal kristalitlari va hujayradan tashqari tish emal matritsasining geliy ion mikroskopi". Fiziologiyadagi chegara. 5. doi:10.3389 / fphys.2014.00395. PMC  4193210. PMID  25346697.
  2. ^ NanoTechWire.com press-relizi: ALIS korporatsiyasi geliy ion texnologiyasida yangi avlod atom darajasidagi mikroskop uchun yutuq haqida e'lon qildi, 2005 yil 7-dekabr (2008 yil 22-noyabrda olingan)
  3. ^ Iberi, Vighter; Vlassiouk, Ivan; Chjan, X.-G.; Matola, Bred; Linn, Ellison; Joy, Devid S.; Rondinone, Adam J. (2015). "Niqobsiz litografiya va joyida geliy ion mikroskopi yordamida grafenning o'tkazuvchanligini vizualizatsiya qilish". Ilmiy ma'ruzalar. 5: 11952. doi:10.1038 / srep11952. PMC  4493665. PMID  26150202.
  4. ^ Carl Zeiss SMT press-relizi: Carl Zeiss SMT AQShning standartlar va texnologiyalar milliy institutiga dunyodagi birinchi ORION geliy ion mikroskopini etkazib beradi., 2008 yil 17-iyul (2008 yil 22-noyabrda olingan)
  5. ^ Fabtech.org: Karl Zays da'vo qilgan mikroskopiya rezolyutsiyasi, 2008 yil 21-noyabr (2008 yil 22-noyabrda olingan)
  6. ^ Carl Zeiss SMT press-relizi: Karl Zayss geliy ionlarini skanerlash yordamida mikroskopiya bo'yicha yangi dunyo rekordini o'rnatdi Arxivlandi 2009 yil 1-may, soat Orqaga qaytish mashinasi, 2008 yil 21-noyabr (2008 yil 22-noyabrda olingan)

Tashqi havolalar